纯水处理
高品质纯水与超纯水系统解决方案
业务介绍
Enviopro为半导体、微电子、医药、光伏等高端制造业提供先进的纯水与超纯水解决方案，满足最严格的水质要求。
纯水与超纯水系统广泛应用于以下领域：
- 半导体和微电子制造 - 晶圆清洗、光刻工艺
- 光伏产业 - 太阳能电池片生产
- 制药工业 - 注射用水、纯化水制备
- 精密仪器生产 - 光学元件清洗
- 生物医学研究 - 实验室用水
- 电力行业 - 锅炉补给水
先进工艺解决方案
Enviopro提供纯水/回收水系统整体解决方案，满足集成电路、高世代面板、光伏等行业的超高水质要求：
- UPW-HiDB超纯水深度除硼工艺方案 - 采用SA+DP+PMB工艺包，离子交换效率高，出水硼含量可稳定控制在0.01ppb以下。
- UPW-HiDC超纯水深度除TOC工艺方案 - 采用Dual UVox+PMB工艺包，方案成熟可靠，出水TOC可稳定控制在0.5ppb以下。
工艺流程
